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干涉条纹分析仪

干涉条纹分析仪

产品时间:2017-12-27

简要描述:

KIF-FU60 、KIF-FU100和软件KIF-FSA是一套干涉条纹分析系统。主要用于通过扫描干涉条纹获取测试样本的波相位,以及显示和保存测量结果。KIF-FU60安装于KIF-20系列干涉仪上;KIF-FU100安装于4英寸的干涉仪上。

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干涉条纹解析装置,干涉条纹解析软件 KIF-FU60/FU100,KIF-FSA:规格
型号KIF-FSA
解析方式条纹扫描方式
测定条纹条件正弦波状强度分布的干涉条纹(不支持多重干涉的干涉条纹解析)
干涉条纹显示图像尺寸640×470(像素)
再现性PV值:0.01λ(2σ)以下 
RMS值:0.003λ(2σ)以下
解析功能PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示
合格判断功能PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示
3轴压电载物台冲程(选配件)粗动:±3 mm(XYZ的各轴) 
微动:12 μm(XYZ的各轴)
使用环境水平无震动的场所(地面震动±0.8/s²以下) 
温度:23±3 °C 
湿度:60%以下、无结露

* 因测定时的设置环境不同,可能发生机械性能不能充分发挥的情况。 
* 本装置不保证溯源体系中的绝对精度。

  • 工作参数设定功能 
    ・ 产品名、单元名、注释 
    ・ Fitting次数(3/4/9/16/25/36) 
    ・ 像差清除(像差指定/Zernike系数指定) 
    ・ 显示单位(λ、μm、nm、条纹) 
    ・ 对Zernike系数的offset设定 
    ・ 规格值(指定各像差以及用户定义式)

  • 解析结果显示功能 
    ・ P-V、RMS、Pwr 
    ・ 赛德尔像差(倾斜、焦点、像差AS、彗差、球面像差) 
    ・ Zernike系数(3、4、9、16、25、36项) 
    ・ 3维鸟瞰图、2维彩图 
    ・ 横切面侧面像(X、Y方向、PV、RMS) 
    ・ 合格判断结果

  • 文件输入输出功能 
    ・ 工作参数的保存和读取 
    ・ 条纹数据的保存和读取 
    ・ 影面数据的保存和读取 
    ・ 画面版面的保存和读取 
    ・ 主窗口打印

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